忠谋和蔡力行等人说着悄悄话。 “你觉得呢？” “章总，我觉得可以答应他们。” “呵呵，你就不怕他们真的造出浸润式光刻机，甚至是euv光刻机？” “怎么可能呢！您也知道造光刻机的难度有多大，哪怕给他们一套完整的图纸，他们也无法自主制造出一台光刻机，更别说造出euv光刻机，简直是痴心妄想！” “你说的也有道理。” 章忠谋就是太清楚光刻机制造的难度，才没有一口回绝陆飞的条件。 要知道最先进的euv光刻机包括超过10万个零件，4万个螺栓、3000条线路软管，总长超过两公里，设备重达180吨。 光给三星的那台试验机，就需要40个集装箱、20辆卡车和三架货机，仅调试时间，就长达一年。 而在这10万个零件中，一些特殊零件非常复杂，比如紫外光源和光学镜头等，蔡斯公司提供生产镜头、各种反光镜和其他光学元件，目前世界上没有任何公司可以模仿。 卡住了光学镜头，量国产光刻机也造不出来，他打心底里，就不认为大陆能凭一己之力，在不借助国外的情况下，能搞出光刻机。 “可以，但能不能说服asml，我们不敢百分之百地保证。”蔡力行又点了下头。 “还有，我们还希望邀请贵公司的林本坚博士来大陆来，协助光刻机的研发项目。” 陆飞敲了敲桌面。 章忠谋立刻打起十二分精神，“不好意思，陆总，林本坚博士早就从台积电退休了，我们不能替他做出，能不能重新出山，要看他本人的意愿。” 陆飞也不强求，改成了让台积电帮复芯跟林本坚牵线搭桥，说服出山的工作他们来办！ 章忠谋当然是不愿意让浸润式光刻机之父林本坚出山，那不像梁孟松一样资敌了嘛！ 不能给大陆半导体任何领先的机会！ 只要能控制了所有的技术瓶颈！ “我要的就这几个条件，不过分吧？” 陆飞左看看，右看看。 “我们这边没有任何问题，但我们还要跟公司里商量，可能需要经过董事会的决议。” 章忠谋喝了口水。 工信部领导们看向陆飞，见他没有异议地点了下头：“该走的程序还是要走，应该能在在24号以前给出准确的答复吧？” 在得到了肯定的答复之后，双方握手言和，接着陆飞目送章忠谋等人先行离开。 电子司司长纳闷不已，“你们这既要林本坚，又要amsl和台积电提供光刻机的技术专利，复芯到底是要投资amsl，还是要自己独立地研发光刻机？” “为什么两个不可以同时有呢？” 陆飞嘴角扬起一抹笑意。 “嘶，全都要？” 工信部领导们或多或少感到惊讶，怎么夜没想到陆飞的野心和贪心竟然这么大！ “爹有，娘有，不如自己有，我们肯定要有自己国产的光刻机，如果能拿到浸润式光刻机重要的技术资料和专利，别的不敢保证，中微半导体研发的时长可以提前，也许三年，也许五年，就可以有生产45nm，甚至是28nm的浸润式光刻机，我们自己的光刻机！” 陆飞把拳头攥得紧紧的。 这一嗓子，把工信部的领导们的情绪也给调动了，一个个热血澎湃，副部长笑道：ｍ.dＸＳＺXEｄU.coM